空氣電容的固定葉片及動片在調到較大時是基本重合的；如呈現(xiàn)打火現(xiàn)象，附著力小容易打滑 承認葉片有無燒壞，如燒壞可將燒壞位置打磨后再運用，葉片之間的間隔太近也會呈現(xiàn)打火現(xiàn)象。 如呈現(xiàn)電容無法調理的狀況，可打開匹配器，手動操控調理電容，承認葉片電容能否正常旋轉。需留意電機與空氣電容的傳動部分是否有無法滾動的狀況，呈現(xiàn)卡死需及時報修，如呈現(xiàn)齒輪與軸之間 打滑，可先自行處理。

(2)當真空等離子清洗機匹配器故障,立即確認電極板的位置,銷的男性女性位置、屏蔽盒內連接(如果有接觸不良,接觸導電片是否外墻,是否過近)、驗證器初值的確定、內部是否干凈、空氣電容失配起火、空氣電容是否旋轉(是否有打滑)、傳動電機是否能正常工作、射頻電源是否有輸出、接線段是否短路、配對器有燒灼氣味或以上問題無法解決時，附著力小容易打滑請及時聯(lián)系專業(yè)人員。

固定氣容葉片和空氣電容動片在調至大時基本重合；如出現(xiàn)打火現(xiàn)象，附著力小容易打滑確認葉片是否燒壞，如燒壞的位置可以打磨后再使用，葉片間的距離過近也會出現(xiàn)打火現(xiàn)象。如發(fā)生電容不能調整的情況，可打開匹配器，手動控制調整電容，確認葉片電容是否能正常轉動。要注意電機與空氣電容的傳動部分是否有不轉動的現(xiàn)象，出現(xiàn)卡死要及時報修，如果齒輪和軸之間發(fā)生打滑，可先自己處理。 三、其他事項（1）匹配器可長時間運轉，平時要注意觀察和清洗。

在真空腔內通過射頻電源在一定壓力下產(chǎn)生高能無序等離子體，附著力小于牽引力會怎么樣用等離子體轟擊清洗后的產(chǎn)品表面，達到清洗的目的。優(yōu)點：（真空式精密全面）。真空等離子體處理設備表面等離子體-基本原理：表面等離激元是由自由振動的電子和光子在金屬表面相互作用產(chǎn)生的沿金屬表面?zhèn)鞑サ碾娮用芏炔āＦ洚a(chǎn)生的物理原理如下：如圖所示，在兩個半無限各向同性介質組成的界面上，介質的介電常數(shù)為正實數(shù)，金屬的介電常數(shù)為實部為負的復數(shù)。

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其關鍵過程是:第一個清潔部分進入真空室固定,真空泵和其他設備開始真空排氣大約10 pa;然后混合氣體的低溫等離子體清洗機清洗(根據(jù)不同的清洗材料,混合氣體的選擇是不同的,如氧氣、H2, Ar, N2,等等),真空室中的極板與保護地之間施加高頻電壓，使混合氣體被擊穿并通過輝光放電產(chǎn)生它被電離，再被輝光放電電離，產(chǎn)生等離子體。

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固體表面吸附:像液體一樣，固體表面的原子或分子的力場是不均勻的，所以固體表面存在表面張力和表面能，但固體分子或原子不能自由運動。

等離子清洗在清洗過程中通過射頻電源電離真空腔內氣體產(chǎn)生等離子體，等離子體具有高能量可以通過物理作用轟擊金屬表面使金屬表面的污染物從金屬表面脫落，其次電離某種氣體可以產(chǎn)生對應的活性粒子，活性粒子會與表面的有機物或者氧化物等發(fā)生化學反應進而生成易于揮發(fā)的物質可以被真空泵排出反應腔體達到清洗物體表面的效果。氣體所產(chǎn)生的自由基和離子活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應。

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